FSD150e & FSD150i

FSD150e & FSD150i是睿勵科學儀器(上海)有限公司專為LED市場開發生產的全自動光學檢測設備(AOI),適用于藍寶石圖形襯底(PSS)晶圓生產工藝中的表面缺陷檢測以及外延片檢測。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點,并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率,又可為全面良率管理提供數據。FSD150e & FSD100i在國內市場已銷售至數家客戶并獲得肯定和好評。

FSD150e & FSD150i系統主要特點:

· 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計
· 4吋及6吋晶圓通用
· 適用于PSS端檢測 和外延片
· 同時檢測微觀及宏觀缺陷
· 全表面檢測、自動缺陷分類、自動存儲缺陷圖像
· 高分辨率的缺陷復查功能
· 根據檢測結果自動分揀,提高生產效率
· 為管理工藝漂移提供有效手段,為良率管理提供數據
· 支持工廠自動數據傳遞


FSD150e & FSD150i


FSD150e & FSD150i