FSD150s

FSD150s是睿勵科學儀器(上海)有限公司專為LED襯底拋光片外觀缺陷檢測開發生產的全自動光學檢測設備(AOI),適用于藍寶石襯底片(拋光片)表面缺陷檢測。為LED襯底片廠家全面控制產品的出貨品質及改善生產過程中良率。

FSD150s系統主要特點:

· 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計
· 4吋及6吋晶圓通用
· 適用于襯底拋光片檢測

· 自主開發的劃傷增強算法(EASI©RSIC)
· 同時檢測微觀及宏觀缺陷
· 全表面檢測、自動缺陷分類、自動存儲缺陷圖像
· 高分辨率的缺陷復查功能
· 根據檢測結果自動分揀,提高生產效率
· 為管理工藝漂移提供有效手段,為良率管理提供數據
· 支持工廠自動數據傳遞


設備圖片:


FSD150s


FSD150s