TFX3000 OCD--300mm全自動光學關鍵尺寸和形貌測量系統
TFX3000 OCD--300mm全自動光學關鍵尺寸和形貌測量系統

TFX3000 OCD是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主創新開發,具有自主知識產權的集成電路生產線300mm硅片全自動光學關鍵尺寸(OCD)和形貌測量系統。其在TFX3000系統基礎上集成光學關鍵尺寸測量模塊,除具有300mm全自動光學膜厚測量能力外,還可以進行顯影后檢查(ADI)、刻蝕后檢查(AEI)等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側壁角度(SWA)、高度/深度等關鍵尺寸(CD)特征或整體形貌測量??蓽y量二維多晶硅柵極刻蝕(PO)、隔離槽(STI)、隔離層(Spacer)、雙重曝光(Double Patterning)或三維連接孔(VIA)、鰭式場效應晶體管(FinFET)、閃存(NAND)等多種樣品。具有高速、準確和非破壞性等特點。


TFX3000 OCD--300mm全自動光學關鍵尺寸和形貌測量系統