睿勵首臺自主研發的光學缺陷檢測設備出貨

2021年4月18日,睿勵首臺自主研發的高精度光學缺陷檢測設備(WSD200)裝箱出貨,交付國內知名客戶,這是睿勵研發的光學缺陷檢測設備進入集成電路晶圓缺陷檢測市場的重大突破。

睿勵首臺自主研發的光學缺陷檢測設備出貨 隨著集成電路制造工藝不斷提升,集成電路前道工藝檢測設備地位愈發重要。睿勵自主研發的光學缺陷檢測設備WSD200采用行業通用的檢測方式,可以快速高效地檢出圖形晶圓上的缺陷,進行分類,為工藝過程控制提供關鍵數據。該設備的研發成功引起許多客戶的興趣與關注。

睿勵首臺自主研發的光學缺陷檢測設備出貨

同時,與該設備同期開發的、適用于300mm晶圓的光學缺陷檢測設備WSD300,以及適用150mm以下的WSD150也在順利推進。除了IC芯片工藝,WSD系列還可應用于化合物半導體及其MicroLED等工藝過程的缺陷檢測,形成缺陷檢測系列產品,有著寬廣的可服務市場,可為集成電路前道工藝缺陷檢測設備國產替代貢獻更多力量。