睿勵自主研發的新一代光學膜厚量測設備(TFX4000i) 正式交付國內重要客戶

2021年6月20日,睿勵科學儀器(上海)有限公司自主研發的第三代光學膜厚量測設備TFX4000i正式交付客戶,該款設備是一款優秀的應用于大規模集成電路前道生產線的量測設備,該設備繼承了公司二代產品TFX3000P的全部優越性能,在功能上更加豐富、完善,應用上更加廣泛。

睿勵自主研發的新一代光學膜厚量測設備(TFX4000i) 正式交付國內重要客戶

相對于早已實現批量生產的TFX3000P,TFX4000i延續使用了與TFX3000P相同的主框架及軟件架構,最大程度保持了二代產品的優良測量性能和可靠性,同時TFX4000i新增加了反射測量模塊和深紫外測量模塊,具有更寬的光譜范圍,涵蓋了更廣泛的工藝段應用,可以滿足更先進的工藝要求。

TFX4000i的交付,標志著睿勵在集成電路前道檢測領域的核心競爭力得到了大幅提高,睿勵的光學量測設備在配置、功能以及整體性能等方面趕上了國際一流設備。這是睿勵在努力發展成為國內領先的高端集成電路工藝檢測設備供應商道路上邁出的重要一步。